Aixtron G10 ठोस SiC ग्रह रिएक्टर घटक

1. मुख्य सुविधाहरू र लाभहरू

• उत्कृष्ट पहिरन र क्षरण प्रतिरोधका लागि पूर्णतया घना, बाइन्डर-रहित ठोस SiC संरचना

• 1500 डिग्री सेल्सियस भन्दा माथिको तापक्रममा उत्कृष्ट थर्मल चालकता र थर्मल झटका प्रतिरोध

• अति कम कण उत्पादन र उच्च शुद्धता, प्रदूषण जोखिम कम गर्दै

• SiC epitaxy मा प्रयोग हुने प्रक्रिया ग्यासहरू विरुद्ध उत्कृष्ट रासायनिक निष्क्रियता

• दोहोरिएको उच्च-तापमान साइकल चलाएर लामो सेवा जीवन

• भरपर्दो फिट र प्रक्रिया स्थिरताको लागि परिशुद्धता-मेसिनले कडा आयामी सहिष्णुता

 2. विशिष्ट अनुप्रयोगहरू

यी ठोस SiC सामानहरू Aixtron G10 रिएक्टरको प्रमुख कार्यात्मक क्षेत्रहरूमा प्रयोग गरिन्छ, जसमा:

• कभर प्लेटहरू र चयन गरिएका आवरण तत्वहरू

• सुरक्षात्मक घण्टी र उच्च पहिरनका कम्पोनेन्टहरू

• सटीक पिन, धुने, र साना संरचनात्मक भागहरू

• तीव्र ग्यास प्रवाह वा थर्मल लोडको सम्पर्कमा रहेका अन्य अनुकूलन उच्च-शुद्धता इन्सर्टहरू

तिनीहरूले शक्ति MOSFETs, डायोडहरू, र सम्बन्धित वाइड-ब्यान्डग्याप उपकरणहरूको लागि उच्च-भोल्युम SiC एपिटेक्सियल वृद्धिको समयमा स्थिर तापक्रम वितरण, समान ग्यास वितरण, र कम दोष घनत्व समर्थन गर्दछ।

3. Aixtron G10 को लागी VeTek Solid SiC किन छनौट गर्ने?

सेमीकन्डक्टर-ग्रेड सामग्रीको एक विशेष निर्माताको रूपमा, VeTek सेमीकन्डक्टरले प्रदान गर्दछ:

• Aixtron G10 प्रणालीहरूका लागि उपयुक्त उच्च-शुद्धता ठोस SiC कम्पोनेन्टहरू, उदाहरणका लागि: कभर रिङ，इनर/आउटर कभरहरू, पुलिङ डाउन/सपोर्ट प्लेट，स्याटेलाइट डिस्क，ससेप्टर

• कडा शुद्धता नियन्त्रण र सटीक सीएनसी मेसिनिंग

• पूर्ण थर्मल-फिल्ड कभरेजको लागि CVD SiC-लेपित ग्रेफाइट र TaC-लेपित भागहरू सहित पूरक समाधानहरू

• विशिष्ट प्रक्रिया अवस्था र रिएक्टर कन्फिगरेसनहरूसँग मिल्ने अनुकूल डिजाइनहरू

हाम्रो ठोस SiC सहायक उपकरणहरूले ग्राहकहरूलाई Aixtron G10 प्लेटफर्मको उत्पादकता फाइदाहरू अधिकतम बनाउन मद्दत गर्दछ — उच्च वेफर उत्पादन, उत्कृष्ट मोटाई र डोपिङ एकरूपता, र स्वामित्वको प्रतिस्पर्धात्मक लागत — जबकि कम्पोनेन्टको जीवनकाल विस्तार गर्दै र कण-सम्बन्धित उपज हानि घटाउँदै।