SIC WEFERER वाहक टेक्नोलोजीमा अनुसन्धान

SIC वेफर क्यारियर, तेस्रो-पुस्ताको अर्धडौटेजर उद्योग चेनको रूपमा, तिनीहरूको टेक्निकल बृद्धि र उपकरण निर्माणको उपजलाई प्रत्यक्ष असर गर्दछ। उच्च विकास स्टेशनहरू र नयाँ ऊर्जा सवारी साधन, अनुसन्धान र अनुक्रमका सवारी साधनहरूको लागि उच्च-मतदान र उच्च-ताप्लनहरू उपकरणहरूको लागि बढ्दो मागको साथ अब महत्त्वपूर्ण विकास अवसरहरूको सामना गरिरहेका छन्।

अर्धोन्डरकन निर्माणको क्षेत्रमा, सिलिकन कार्ब्याइड वेफर वारफर्शीहरूले एपिट्याजिकल उपकरणहरूमा लैजान र प्रसारण वेफरहरूको महत्त्वपूर्ण कार्य गर्दछ। परम्परागत क्वार्ट्ज वाहकहरूको तुलनामा, SIC Carriers ले तीन कोर सुविधाहरू प्रदर्शन: प्रथम, k.2 × 10 ^ / ℃), प्रभावकारी रूपमा उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा कम हुँदै गयो; दोस्रो, रासायनिक बाल कस्वसन (CVD) विधि द्वारा तैयार, क्वार्ट्ज क्यारियरहरूको साधारण सोरोलीहरूको समस्यालाई वेवास्ता गर्दै। यसबाहेक, 23300 मा सीआईआईसी सामग्रीको पग्लने पोइन्टलाई Mocvd उपकरणमा दीर्घकालीन काम वातावरणमा अनुकूलन गर्न सक्षम गर्दछ।

वर्तमानमा मुख्यधारका उत्पादनहरू 6-इन्च विशिष्टता अपनाउँछन्, 20--300 मिलिमिटरको दायरा भित्र र 0. μm कमिट भन्दा कमको सतह कतै आवश्यकता। एपिट्याजिकल एक समानता बढाउनुहोस्, अग्रणी निर्माताहरूले क्यारियर सतहमा क्यारियर सतहमा विशेष टोस्टलोजिकल संरचनाहरू निर्माण गर्दछ। उदाहरणका लागि, अर्ध-आकारको ग्रूभ डिजाइन अर्धवारको द्वारा विकसित हुन्छ भने ± %% भित्र एपिटाइक्सल लेयरको मोटो सम्बन्ध नियन्त्रण गर्न सक्दछ। कोटिंग टेक्नोलोजीको हिसाबले, TAC / Tars2 कम्पोजिट कोटिंग मा क्यारियरको सेवा जीवन 80000 भन्दा बढी समय सम्म पुग्न सक्छ, जुन UNCEDED उत्पादनको भन्दा तीन गुणा लामो हुन्छ।

औद्योगिक आवेदन स्तरमा, SIC क्यारियरहरूले सिलिकन कार्ब्यान्ड पावर उपकरणहरूको सम्पूर्ण उत्पादन प्रक्रिया बिस्तारै व्याप्त छ। एसबीडी डायोडेको उत्पादनमा, SIC Carriers को उपयोग 0.5CM भन्दा कममा एपिटाइक्रिप्टियन त्रुटि घनत्व कम गर्न सक्दछ। MOSSET उपकरणहरूको लागि, उनीहरूको उत्कृष्ट तालिकाको अर्थमा 1 15% देखि 20% सम्म च्यानल गतिशीलता बढाउन मद्दत गर्दछ। उद्योग तथ्या .्कका अनुसार ग्लोबल साइको क्यारियर बजार आकार 2022 करोड अमेरिकी डलर 2 285 मा 2 28% मा राख्नुहोस्।

यद्यपि, प्राविधिक लालसाहरू अझै अवस्थित छन्। ठूलो आकारको कारियरको वारपेज नियन्त्रण एक चुनौती हो --इन-इन्च क्यारियरहरूको फ्ल्याटपन सहिष्णुता 500μm भित्र संकलन गर्न आवश्यक छ। वर्तमानमा सेमिजुरा केहि घरेलु कम्पनीहरू हुन् जसले warpinging ्गलाई नियन्त्रण नियन्त्रण गर्न सक्दछन्। घरकालीन उद्यमहरू जस्तै टियानके हेडेले G-इन्च क्यारियरहरूको जन उत्पादन हासिल गरेको छ। सेमिजुराले हाल सेयाक हेदलाई उनीहरूको लागि साइक क्यारियर अनुकूलन गर्न सहयोग पुर्याइरहेको छ। वर्तमानमा, यसले कोटिंग प्रक्रियाहरू र दोष नियन्त्रण नियन्त्रणको हिसाबले अन्तर्राष्ट्रिय राक्षसहरू सम्पर्क गरेको छ। भविष्यमा, हेस्टरफिटक्टाइक्रिप्टेन्क्सिको टेक्नोलोजीको परिपक्वता संग, Gan-in-Sic अनुप्रयोगका लागि समर्पित क्यारियर नयाँ अनुसन्धान र विकास दिशा हुनेछ।