सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चक

अर्धोन्डंडर उत्पादन प्रक्रियाहरू, विशेष गरी वेफिक प्रोसेसिंग, भ्याकुम वातावरणमा गरिन्छ, र यांत्रिक रूपमा क्लेम्प्रिंग वेफर क्ल्याम्पिंग 

केहि जोखिमहरू। जब बल क्ल्याम्पिंग पोइन्टमा केन्द्रित छ, भाँडा सिलिकन वेफरहरूले साना टुक्राहरू बगाउन सक्छन्, वेफर उत्पादनमा गम्भीर क्षति निम्त्याउन सक्छन्।

यस अवस्थामा, सिरेमिक इलेक्ट्रिकस्टेटिक चक अझ राम्रो विकल्प हुन्छ, जसले इलेक्ट्रोस्टेटिक बलले वेफर फिक्स गर्दछ। इलेक्ट्रोस्टिक फोर्सले वेफर वेगमा समेत प्रेरित गर्दछ, त्यसैले वेफर फ्लैश गर्न सकिन्छ, प्रक्रियाको शुद्धता सुधार गर्न सकिन्छ।

प्रासंगिक अनुसन्धान कागजातका अनुसार सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकको कारणले अन्य इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू भन्दा कडा सोचाइ रहेको छ। उदाहरण को लागी, सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकले पाल्तु जनावर फिल्म इलेक्ट्रोस्टेटिक चक भन्दा धेरै कडा मूल्यांकन हुन्छ।

सिरमिक्स चक सामान्यतया एल्बो or, Al2o3, Aln वा sic, उच्च गति प्रतिरोध, इन्द्रिय र विकसित प्रतिरोध छ। गोरस स्क्रुमिक चोक चरम तापमानमा मात्र स्थिर हुँदैन, जसमा रासायनिक अभ्यासलाई जबरजस्ती र प्लाज्माले ecceenceesses को कारण सिडमिक इ-चकलाई गिरावटबाट रोक्दछ।

तापमान नियन्त्रण: सिरेमिक सामग्रीका उच्च थर्मल संकुचित र स्थिर थर्मल गुणहरूले एलियरिना सिरेली रिलम शून्य चकलाई प्रभावी ढंगले नियन्त्रण गर्न सक्षम गर्दछ, जसले प्रक्रियाको क्रममा तापमान वितरणलाई अनुमान लगाउँदछ।

भ्याकुम अनुकूलन: सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकलाई भ्याकुम वातावरणको लागि उपयुक्त छ, विशेष गरी कम प्रेशर र उच्च-प्रेजलीमा ecching प्रक्रियाहरूमा।

कम कणको पुस्ता: ग्रचन SIC सिरमिक ई-चकमा एक चिल्लो सतह छ, जसले वेफर फिक्सिंगको समयमा कण दूषित घटाउन सक्छ र उत्पाद उत्पादन सुधार गर्दछ।

अनुप्रयोग: मुख्यतया अर्धडी निर्माणमा प्रयोग गरिएको, विशिष्ट स्थिति र स्थिरता प्रदान गर्दै, जुन Litithग्राफी, ईचिंग र अन्य अर्धन्डुन्ड्रक्टर वेधर प्रशोधन प्रशोधन प्रक्रियाको लागि धेरै सहयोगी हुन्छ। सुनिश्चित गर्नुहोस् कि वाफरले संशोधन गर्ने र चिप उत्पादनको गुणस्तरको बखत अक्षुण्ण छ।

यो अर्ध मजदुरसिरेमिक ई-चक उत्पादन पसलहरू: