भ्याकुम चक

दरखास्त:. 

एक उच्च दक्षता भ्याकुम चकले वेफर र जायजहरूको सटीक अय्यूबरेशन र फर्म फिक्सनको लागि बकाएको। यो राम्रोसँग उपयुक्त छ - अर्धडी कटौती, वेफर काट्ने, सटीक प्रशोधन, सटीक प्रशोधन, उच्च तापमान एपिटेक्श, एरिड, र आयन इम्पाट।

कोर प्यारामिटरहरू:

● समायोज्य पोजरीज (10 - 200μ -2 - 200μM बाट)।
All अल्ट्राको लागि सक्षम - उच्च तापक्रम (≤1600 डिग्री सेल्सियस सम्म) र उत्कृष्ट थर्मल श्रृंगारको प्रतिरोध देखाउँदै।
● AdSornct भ्यागुरम: मानक हो - 90KPA (100KPA पुग्नको लागि अनुपालन)।

● सञ्चार कप आयाम: / / / / / / / / 1/12 - इन्च वेफरहरू, र अंक आकार विशिष्ट आवश्यकता अनुसार सुरक्षित गर्न सकिन्छ।

Ⅰ वर्णन

Veetcasdicon सिरेमिक भ्याकुम चैक चितेस्ट सिरेमिक र एक धातु बाहिरी औंठीको एक संयुक्त संरचना प्रयोग गर्दछ। वायु च्यानल र pores को निजीकृत डिजाइन मार्फत, यसले Adsorction शक्ति र उच्च स्थिरताको वितरण महसुस गर्दछ। यो चक अर्ध बोल्ड निर्माण, वेफर काट्ने, सटीक प्रोसेसिंग, आदि सेटिंग्स र उच्च आकारको सेटिंग्स मा संचालन गर्न को लागी।

Ⅱ कोर संरचना र भौतिक फाइदाहरू

बहुविवाह कम्पोजिट लेआउट:

✔ सतह तह: पोखरी सिरेमिकबाट बनेको (तपाईं पोर्स्ट सिलिकन कार्ब्याइड वा दोर ग्रेफाइटको बीचमा छनौट गर्न सक्नुहुन्छ। Pore ​​व्यास समायोजित गर्न सकिन्छ (10 - 200μ M2m), जसले ग्यारेन्टी गर्दछ कि एडरस्प्शन बललाई समान रूपमा वेफरको सतहमा हस्तान्तरण गरियो।

✔ Materix: एक उच्च कठोर धातु फ्रेम (या त स्टेनसहित स्टील वा एल्युमिनियम Alumy) संरचनात्मक समर्थन र एयरटाइट प्रदान गर्न।

✔ हवाईहरू र pore: क्रमबद्ध रूपमा क्रमबद्ध आन्तरिक एयरवेज एक नेटवर्क एक नेटवर्क बनाउँदछ, साथै समान रूपमा स्पेस माइक्रोरोजहरूको साथ। यो सेटअपले द्रुत भ्याकुम निकासीलाई समर्थन गर्दछ (Adsorcepsions बल)-90kPA) र तत्काल रिलीज गर्न पुग्न सक्छ।

Ⅲ । मासाको तुलनाटेरियल विशेषताहरु

1 सामग्री गुणहरूको तुलनामा

2 अनुप्रयोग परिदृश्य र केसहरू

✔ अर्ध मंडरायर फेस्टिओटाइयो

एपिट्याजिकल वृद्धि: यसले उच्च तापक्रममा एडस्टोरब्याब SICFERS दृढतापूर्वक हेडोरब SICE वाइफर्स गर्न सक्दछ, वेफरहरूलाई warfing र दूषित हुनबाट रोक्छ।

लिथोग्राफी र ईचिंग: यसले उच्च-गति सार्ने प्लेटफर्महरू (त्वरण ≤10g) मा सटीक स्थिति सक्षम गर्दछ, र ग्राफिक प ign ्क्तिबद्धताको शुद्धता सुनिश्चित गर्दछ।

✔ Innot प्रक्रिया

काट्ने र पीस गर्दै: यसले एडस्ट्रोबब भारी ईन्सट्स (जस्तै सफियर र सिलिकन - कार्ब्याइड इनट्स), कम्पनहरूको कारण किनारा कम गर्दै।

✔ वैज्ञानिक अनुसन्धान र विशेष प्रविधिहरू

उच्च-तापमान अभिनय गर्दै: फार्शी सिलिकन - कार्ब्याड सञ्चार कपहरू 1 1600 डिग्री विवाद बिना वा प्रदूषण बिना नै काम गर्न सक्दछ।

भ्याकुम कोटिंग: एक उच्च-एयर - कडापन डिजाइनको साथ, यसले PVD / CVD गुफा वातावरणमा अनुकूलन गर्न सक्दछ।

। अनुकूलित सेवा

हामी आकार र लोड को लागी अनुकूलन प्रस्ताव गर्दछौं।

Storled stomaat र वायु विशेष आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन गर्न सकिन्छ।

✔ यो विशेष वातावरणमा अनुकूलन गर्न सकिन्छ।

Ⅳ FAQ:

कसरी भ्याकुम चैक्सले बहु-आकारको वेग कम्पार्टमेन्ट प्राप्त गर्दछ (E.G. 12 / / / / /// 6)?

Q: एकल चेक 12 इन्च,-इन्च, र एकै समयमा 1 इन्च, र-इन्च वेफरमा फिट हुन्छ? के शारीरिक पुनर्संरचना आवश्यक छ?

A)अनुकूलन वायुवेदुर र स्टमाटल विभाजन मार्फत बहु-आयामी अनुकूलता:

✔ गतिशील स्ट्रोथाल नियन्त्रण: सकुकर को सतह मा stomata एक औंठी क्षेत्र मा वितरित गरिन्छ, र विभिन्न क्षेत्र मा एयर सर्कीट बाह्य भल्भ द्वारा नियन्त्रण गरिन्छ।

उदाहरण को लागी, जब एक-इन्च वेफर अवशोषक जब केन्द्रीय क्षेत्रमा pores सक्षम गरी बाह्य आधारहरू बन्द छ र बाहिरी पेटीहरू बन्द गर्न (ADSRORCECHEPS बलको चुहावटबाट जोगिन)।

✔ लचिलो एयरवे डिजाइन:. पोर्ट नेटवर्कमा एक मोडेल लेआउट छ जुन विभिन्न आकारको वाफरहरूको किनारका एड्फर्सेक्स कभरेजहरू बनाउँदछन्। र लाभहरू निम्नानुसार छन्:

शून्य हार्डवेयर प्रतिस्थापन: सफ्टवेयर वा ग्यास भल्भ स्विच मार्फत सफ्टवेयर वा ग्यास भल्भ स्विच मार्फत हटाउन वा प्रतिस्थापन गर्न आवश्यक पर्दैन, विभिन्न आकारहरूमा अनुकूलित गर्न सकिन्छ।

लागत बचत: उपकरण मर्मत लागत र डाउनटाइम कम गर्नुहोस्, र उत्पादन रेखा लचिलोपन बढाउनुहोस्।