CVD SIC लेपित ग्राफरेट स्नातक स्नान टाउको

VETEKSIMIMON CVD SVD SIC लेपित ग्राफ्रेन्ट स्नान टाउको, यसको सटीक-ईन्जिनियर गरिएको सतहले युनियोगेन फसल वितरणलाई सुनिश्चित गर्दछ, जुन वेफरहरूमा लगातार फिल्म डिस्चार्ज प्राप्त गर्न महत्वपूर्ण छ। दSic कोटिंगकेवल प्रतिरोध र अक्सिडेशन प्रतिरोधको परिणामहरू मात्र न तरता जीवनलाई कठोर प्रक्रियाको अधीनमा पनि पुर्याउँछ।

अर्ध मन्मूल वेफर बनावट, उपस्थिति, र पातलो-फिल्म ह्युफन्ट हेडका लागि व्यापक रूपमा लागू गरियो, विश्वसनीय, उच्च-शुद्धता स्नानकारीको लागि एक आदर्श विकल्प हो जुन अर्को-पुस्ताको अर्धवेंडर उत्पादनको मागहरू पूरा गर्दछ।

VETEKSEMI CVD सिलिकन क्यारेडिड हीडहेड उच्च-शुद्धता रसायनिक बाफबाट निर्मित छ र अर्धवान्डुनिक उद्योगहरूमा CVD र MCCVD प्रक्रियाहरू सम्पादन गरीएको छ। यसको उल्लेखनीय थर्मल स्थिरता, कर्भेन प्रतिरोध, र समान ग्यास वितरणले उच्च-अवधिको स्थिरता संचालन गर्दछ, अत्यधिक संसाधन वातावरणमा, प्रक्रिया दोहोर्याउने योग्यता र उपज।

VETEKSIMIMAN CVD SVD SIC लेड ग्राफेट हेड कोर सुविधाहरू

● अल्ट्रा-उच्च शुद्धता र घनत्व

CVD SIC लेपित ग्राफरेट स्नान टाउको उच्च पाणिमात्र CVD प्रक्रियाको प्रयोग गरीरहेको छ, कुनै पनि धातु अशुद्धता हटाउँदै। यसको गैर-सर्लुबल संरचनाले प्रभावकारी रूपमा ग्यास परिमार्जन र कण ग्रस्ततालाई रोक्दछ, यसलाई अर्ध मंत्रगत उपदेशक र उन्नत प्याकेटिंग प्रक्रियाहरूको लागि अत्यन्त उच्च सफाई प्रदान गर्दछ। परम्परागत मास्टर गरिएको SIC वा Graphite कम्पोनेन्टहरूको तुलनामा, हाम्रो उत्पादनले लम्ब्याउनु पर्ने फ्रिक्वेन्सी र उत्पादन लागत घटाउँदा पनि हाम्रो उत्पादनले स्थिर प्रदर्शन कायम गर्दछ।

● उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता

उच्च-तापमानमा CVD र MCCVD प्रक्रियाहरूमा, परम्परागत सामग्रीहरू विवेकी तनावको कारण विकृति वा क्र्याकिंगको लागि संवेदनशील छन्। CVD SIC Sandhe Hy00 डिग्री सेल्सियस सम्म को तापमान र थर्मल विस्तार को एक अत्यन्त कम गुणांक को विशेषता, द्रुत गतिशील स्थिरता को सुनिश्चित गर्न र घट्छ। यसको पोशाक यस संस्थाको संवादले प्रतिक्रिया कोठा र केन्द्रमा हुने डिस्निंग डिप्रेसन डिप्रेशन रेटेशनल मतभेद, र फिल्म एकरूपतालाई सुधार गर्दछ।

● एन्टि-प्लाज्माको विरोधाभास

Ecching वा जम्मा प्रक्रियाहरू, अत्यधिक क्षतिपूर्ति ग्याँसहरू (जस्तै सीएफ)₄Cl₂, र एचबीबीआर) द्रुत रूपमा परम्परागत क्वार्टज वा ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरू CVD SICDED ले प्लाज्माको वातावरणमा अपरिवर्तन प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ, एक जीवनसंस्कार -5--5 पटक पारम्परिक सामग्रीको। वास्तविक ग्राहक परीक्षणले यसलाई 2000 घण्टा निरन्तर अपरेशन पछि पनि, प्री साइज भिन्नताहरू ± 1% भित्र रहन्छ, दीर्घकालीन स्थिर ग्यास प्रवाह वितरण सुनिश्चित गर्दछ।

● लामो जीवन र कम मर्मत लागत

जबकि परम्परागत ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरू बारम्बार प्रतिस्थापन आवश्यक पर्दछ, सीईडी स्नान हेड SIC लेटसँगै कठोर प्रदर्शन पनि कायम गर्दछ। यसले समग्र लागत 400% भन्दा बढि खर्च गर्दछ। यसबाहेक, सामग्रीको उच्च यांत्रिक शक्तिले ह्यान्डलिंग वा स्थापनाको क्रममा दुर्घटनात्मक क्षतिलाई रोक्छ।

● पर्यावरण चेन प्रमाणीकरण समर्थन समर्थन

VETECSIMIMON CVD सिलिकन कार्थहेड क्यारोडहेड 'पर्लोमोक्लोजिकल चेन प्रमाणिकरणले अर्धविद् र नयाँ ऊर्जा क्षेत्रहरूमा यसको विश्वसनीयता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न सक्दछ।

प्राविधिक प्यारामिटरहरू

योजना	भुप्रमित
भौतिक	CVD SIC (कोटिंग विकल्पहरू उपलब्ध)
व्यास दायरा	100mm-450mmm (अनुकूलन योग्य)
मोटोपन सहिष्णुता	± 0.05mm
सतह कुनै पनि	≤ 0.2μmm
लागुणी प्रक्रिया	CVD / MOCVD / PECVD / eccving / EPITAXAXY

मुख्य अनुप्रयोग क्षेत्रहरू

निवेदन दिशा	विशिष्ट परिदृश्य
अर्धन्डोक्टर निर्माण	सिलिकन एपिटक्सिक्स, gan / gaas उपकरणहरू
पावर इलेक्ट्रोनिक्स	SIC एपिट्याक्साइजिकल वेफर उत्पादन
हवाइ	Mocvd saphhhir सब्सट्रेट डिसन
वैज्ञानिक अनुसन्धान उपकरण	उच्च-सटीक पातलो पातलो फिल्म जम्मा प्रणाली

पर्यावरण चेन प्रमाणीकरण समर्थन समर्थन

VETECSIMIMON CVD सिलिकन कार्थहेड क्यारोडहेड 'पर्लोमोक्लोजिकल चेन प्रमाणिकरणले अर्धविद् र नयाँ ऊर्जा क्षेत्रहरूमा यसको विश्वसनीयता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न सक्दछ।

विस्तृत प्राविधिक विशिष्ट रूपमा, सेतो कागजात, वा नमूना परीक्षण व्यवस्था को लागी, कृपयाहाम्रो टेक्निकल समर्थन टीमलाई सम्पर्क गर्नुहोस्तपाईंको प्रक्रिया परिवर्तनको क्षमता कसरी बढाउन सकिन्छ अन्वेषण गर्न।