अर्धवान्डुनिक उपकरणमा क्वार्ट्ज कम्पोनेन्टहरूको अनुप्रयोग

क्वार्टज उत्पादनहरूअर्धविश्क्षक निर्माण प्रक्रियामा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ उनीहरूको उच्च शुद्धता, उच्च तापमान प्रतिरोध, र कडा रासायनिक स्थिरता।

1. क्रुज क्रुसिबल

अनुप्रयोग - यो मोनोग्रास्टल सिलिकन रडहरू चित्रण गर्न प्रयोग गरिन्छ र सिलिकन वेफर निर्माणमा कोर उपभोक्ता हो।

क्वार्ट्ज क्रुसिबलहरूधातुको अशुद्धताबाट प्रदूषण कम गर्न उच्च-शुद्धिकता क्वार्टज बालुवा (8N8 कक्षा र माथि) बाट बनेको छ। यसले उच्च-तापमान स्थिरता (पग्लिंग पोइन्ट> 10000 डिग्री सेल्सियस) हुनुपर्दछ र थर्मल विस्तारको विस्तार। सेमीन्डुन्डरकय क्षेत्रमा क्वार्ट्ज क्रुसिबलहरू मुख्यतया सिलिकनको एकल क्रिस्टरको निर्माणको लागि प्रयोग गरिन्छ। तिनीहरू उपभोक्ता क्वार्टज कन्टेनरहरू लोड गर्दै पियोस्क्रिस्टल सिलिकन कच्चा मालहरू लोड हुँदैछन् र वर्ग र गोल प्रकारहरूमा विभाजन गर्न सकिन्छ। वर्गमान्यहरू पोलक्र्यास्टल सिलिकनको कास्टिंगको लागि प्रयोग गरिन्छ, जबकि राउन्डरहरू मोनोक्रोस्टलल सिलिकन डण्डको लागि प्रयोग गरिन्छ। यसले उच्च तापमानको सामना गर्न सक्दछ र रासायनिक स्थिरता कायम राख्न, सिलिकेन एकल क्रिस्टलको शुद्धता र गुणस्तर सुनिश्चित गर्दछ।

2 क्वार्टज प्लेस ट्यूबहरू

क्वार्टज ट्यूबहरूसेमिन्डुन्डोर उद्योगमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरीएको छ कि उच्च तापक्रम प्रतिरोध (दीर्घकालीन अपरेटिंग तापमान), उच्च शुद्धता प्रतिष्ठान (अशुद्ध सामग्रीहरू), र उत्कृष्ट प्रकाश ट्रान्समिट), र एक अशुद्ध सामग्री कम हुन सक्छ। मूल परिदृश्यहरू वेफर निर्माणको बहु प्रमुख प्रक्रिया लिंकहरूमा केन्द्रित छन्।

मुख्य अनुप्रयोग लिंकहरू:भिन्नता, ऑक्सीकरण, CVD (रासायनिक बाफ जम्मा)

उद्देश्य:

• प्रसाधन ट्यूब: उच्च-तापमान प्रसारहरूको प्रसारण प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिएको, यसले डोपिंगको लागि सिलिकन वेफरको बोक्दछ।
• फिजुट ट्यूब: उच्च-तापमान अक्सिडेशन उपचारको लागि अक्सीचाइमा क्वार्ज बज डु boats ्गा समर्थन गर्दछ।

सुविधाहरू:

यसले उच्च शुद्धता (धातु आयन ≤1PPM) र उच्च-तापमान विकृति प्रतिरोध (1200 डिग्री सेल्सियस माथिको प्रतिभाको आवश्यकता पूरा गर्नुपर्दछ।

3 क्वार्ट्ज क्रिस्टल डु boat ्गा

बिभिन्न उपकरणहरूमा निर्भर गर्दै, यो ठाडो र तेर्सो प्रकारहरूमा विभाजित गरिएको छ। विभिन्न फेब उत्पादन लाइनहरूमा निर्भर गर्दै, आकार दायरा Ang देखि 12 इन्च हो। अर्धन्डुनिक आईसीएसको निर्माणमा,क्वार्ट्ज क्रिस्टल डु boats ्गामुख्यतया वेफर ट्रान्सफरको प्रक्रियामा प्रयोग गरिन्छ, सफाई र प्रशोधन गर्दै। उच्च-शुद्धता र उच्च-ताप्पोरी प्रतिरोधी वेफर क्यारियरहरू, तिनीहरू एक अपरिहार्य भूमिका खेल्छन्। प्रसारको प्रसार वा अक्डिस ट्यूबको अक्डिडेशन प्रक्रियामा, बहु वाफरहरू क्वार्ट्ज क्रिस्टल डु boat ्गामा राखिन्छन् र त्यसपछि बाउट्स ट्यूबमा धिक्कार छ।

सेलिन्डुन्डर्समा ईन्जेटरहरू मुख्यतया ठशिव वा तरल पदार्थहरू ढुवानीको लागि प्रयोग गरिन्छ र पातलो फिल्म जम्मा, र doping जस्ता बहु कुञ्जी प्रक्रिया लिंकहरू लागू गरिन्छ।

सिलिकसको सफाई प्रक्रियामा र एकीकृत एकीकृत क्षेत्रीय उत्पादन, यो सफा प्रक्रियाको समयमा सिलिकन वेफर बोक्नको लागि एसिड र क्षीली हुन आवश्यक छ।

। क्वार्टज फ्ल्यागहरू, क्वार्ट्ज रिंगहरू, केन्द्रित रिंगहरू, आदि

यो अर्धवान्डरकर्तामा भाग लिने प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिएको छ, अन्य क्वार्जज उत्पादनहरूको साथ संयुक्त राष्ट्रसंघको संरक्षण गर्न, वेफर वरपर, विभिन्न प्रकारका प्रदूषण गर्ने प्रक्रियालाई नजिकबाट, र एक सुरक्षात्मक भूमिका खेल्दै।

क्वार्टज बेल भाँडाहरूकुञ्जी कम्पोनेन्टहरू सामान्यतया सेमीन्डुन्डोर उद्योगमा प्रयोग गरिन्छ, उच्च-तापमान प्रतिरोध, र उच्च प्रकाश ट्रान्सस्ड फाटो कभर मुख्य रूपमा pultz बेल कभर को रूपमा प्रयोग गरिन्छ। पोलिसिलकुइनको उत्पादनमा, उच्च-शुद्धता ट्राइक्रोरिटिलो एक निश्चित अनुपात मा हाइड्रोज़्रोटिलो संग मिश्रित छ र pertursz बेल कटौती को साथ संचालन प्रतिक्रिया को लागी।

8. क्वार्ट्ज Wett सफा ट्या tank ्क

आवेदन चरण: सिलिकन वेफरको वेल्डिंग वेफर

उपयोग: यो एसिड धुनुको लागि प्रयोग गरिन्छ (एचएफ, हिफ, आदि) र अल्ट्रासोनिक सफा।

सुविधाहरू: कडा रासायनिक स्थिरता र कडा एसिड आर्गुनको प्रतिरोध।

9 क्वार्ट्ज तरल संग्रह बोतल

तरल स collection ्कलन बोतल मुख्यतया वेब सफाई प्रक्रियामा फोहोर तरल वा अवशिष्ट तरल पदार्थ संकलन गर्न प्रयोग गरिन्छ

वेफरहरूको भिजेको सफाई प्रक्रियाको बखत (जस्तै RCA सफाई, sce1 / SC2 सफाई), र वेरेटाइज समावेश गरेपछि अशक्त तरल पदार्थ उत्पादनमा उत्पादन गरिने छ। केही कोटिंग प्रक्रियाहरू पछि (जस्तै किताबवादी कोटिंग), त्यहाँ अधिक तरल पदार्थहरू (जस्तै किताबवादी फोहोर तरल) पनि हुनेछ जुन संकलन गर्न आवश्यक छ।

प्रकार्य क्वार्ट्ज तरल स collection ्कलन बोतलहरू यी अवशिष्ट वा फोहोर तरल पदार्थहरू कम गर्न प्रयोग गरिन्छ, विशेष गरी वाल्टिल तरल पदार्थले त्यसपछिको विश्लेषणको आवश्यकता छ। क्वार्ट्ज बोतलको कम संदूत्रीले अवशेष तरललाई पुन: दूषित हुनबाट रोक्न सक्दछ, पछि पुन: दूषित रूपमा, पूरै रिकभरी (जस्तै रेफेन्ट डिक्रीले (अवधारणात्मक तरलता) को विश्लेषण)।

थप रूपमा, सिंथेटिक क्वार्ट्ज सामग्रीबाट बनेको Quotsaz मास्कहरू फोटोओलिथिकग्राफीमा प्रयोग गरिएको ढाँचा ट्रान्सफरहरूको लागि फोटोओभोथनको "नकारात्मक" को रूपमा लागू गरिन्छ। पातलो फिल्मको मोचनपनाको अनुगमन गर्न र एल्डीड, सीवीएचई, सीवीडी, CVD, Ald, Ald, Ald, Ald, Alt, alld) मा प्रयोग गरीन्छ र अन्य धेरै पक्षहरु बीचको एकरूपता सुनिश्चित गर्न को लागी, अन्य धेरै पक्षहरु मा प्रयोग गरीदैन।

अन्तमा, क्वार्टुज उत्पादनहरू सेम्मोन्डलन्टाइन निर्माणको सम्पूर्ण प्रक्रियामा 2 क्वार्ट्ज मस्कहरू), र पातलो फिल्म जम्माकर्ताहरू (क्वार्ट्ज रिंगल ओस्क्सिलर) को विकासबाट आएका छन्। अर्धोन्डरकशास्त्र प्रक्रियाहरूको विकासको साथ, शुद्धताका लागि आवश्यकताहरू, तापमान प्रतिरोधको प्रतिरोध र क्वार्टज सामग्रीहरूको आयामील सटीकता अझ बढाइनेछ।