CVD SiC कोटिंग ग्रेफाइट पार्ट्स सफाई सेवा

1. तपाईंले सामना गरिरहनुभएको चुनौतीहरू

• AlN तह हटाउन गाह्रो छ:1300°C थर्मल क्लीनले अझै पनि अवशिष्ट AlN तहलाई प्रभावकारी रूपमा नक्काशी गर्न सक्दैन।

• पुनरावर्ती मेमोरी प्रभाव:सतह मेमोरी प्रभावले रिएक्टरमा अस्थिर ग्यास प्रवाह निम्त्याउँछ, प्रक्रिया स्थिरतालाई असर गर्छ।

• क्लिनिङ साइकल इम्प्याकts थ्रुपुट:सामान्यतया प्रत्येक 16 प्रक्रिया चक्र (4-5 ससेप्टर्स) लाई बाह्य सफाई चाहिन्छ।

• महँगो कोटिंगलाई हानिकारक बनाउने चिन्ता:इन-हाउस रासायनिक सफाई अनुभवको अभावले अपरेटरहरूलाई आक्रामक सफाई प्रयास गर्न हिचकिचाउँछ।

2. हाम्रो समाधान - GaN / AlN / AlGaN प्रक्रियाहरूको लागि डिजाइन गरिएको

• व्यावसायिक सरसफाई:अनुकूलन प्रक्रिया विशेष गरी CVD SiC लेपित ग्रेफाइट भागहरूको लागि विकसित। ग्राहकबाट कुनै रासायनिक सूत्र आवश्यक छैन।

• कोटिंग सुरक्षा:100 µm CVD SiC कोटिंगलाई कडाईका साथ सुरक्षित गर्दछ। सफाई पछि पूर्ण शून्य मोटाई हानि।

• प्रमाणित नतिजाहरू:विश्लेषणको पूर्ण प्रमाणपत्र (COA) पाँच कोर आयामहरू कभर गर्दै। अभिलेख र गुणस्तर अडिटको लागि डाटा तयार छ।

3. पाँच कोर स्वीकृति मापदण्ड

सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सी प्रयोगकर्ताहरूको महत्वपूर्ण आवश्यकताहरूसँग कडा रूपमा पङ्क्तिबद्ध:

1. शून्य कोटिंग हानि- SiC कोटिंग मोटाई सफा गरेपछि कहिल्यै कम हुँदैन (पूर्व/पोस्ट मोटाई तुलना प्रमाणीकरण)।

2. कुनै सतह विरूपण छैन- समतलता र ज्यामितीय शुद्धता कुनै भौतिक विकृति सुनिश्चित गर्न कडाईका साथ निरीक्षण गरिन्छ।

3. मेमोरी प्रभाव हटाउनुहोस्- Al/Ga अवशिष्टका लागि XPS विश्लेषणले मेमोरी प्रभाव स्रोतहरूको पूर्ण रूपमा हटाउने पुष्टि गर्दछ।

4. शून्य धातु अवशेष- Fe, Cu, Ni र अन्य धातुहरूको लागि ICP-MS परीक्षणले शून्य अवशिष्ट धातु अशुद्धता प्रमाणित गर्दछ।

5. कुनै अतिरिक्त कण छैन- QIII कण परीक्षण प्लस सफाई प्रमाणिकरणले अवशिष्ट कणहरूको कारणले ग्यास प्रवाह अस्थिरतालाई रोक्छ।

4. डेलिभरी निरीक्षण र COA रिपोर्ट

प्रत्येक ब्याचलाई पाँच कोर आयामहरूमा पूर्ण प्रमाणीकरण डेटाको साथ डेलिभर गरिएको छ:

5. लागू उत्पादन र प्रक्रिया पृष्ठभूमि

उत्पादन प्यारामिटरहरू

सेवा प्रक्रिया

1. सोधपुछ- मूल्याङ्कनको लागि अंश फोटो / मोडेल / मात्रा पठाउनुहोस्।

2. उद्धरण- प्राविधिक मूल्याङ्कन र उद्धरण सहित विस्तृत सफाई प्रस्ताव।

3. ढुवानी- हामीलाई भागहरू पठाउनुहोस् वा पिकअप सेवाको व्यवस्था गर्नुहोस्।

4. सफाई- व्यावसायिक सफाई + पूर्ण बहु-आयामी निरीक्षण।

5. रिपोर्ट- COA रिपोर्ट जारी गरियो र सफा गरिएका भागहरू फिर्ता गरियो।

6. फलो-अप- प्रभाव ट्र्याकिङ र चलिरहेको प्राविधिक समर्थन।

6. किन VETEK सफाई सेवा छनौट गर्ने?

VETEK ले उच्च-मूल्य ग्रेफाइट ससेप्टरहरूको लागि विशेष सफाई क्षमताहरूको साथ CVD SiC कोटिंग टेक्नोलोजीमा गहिरो विशेषज्ञता संयोजन गर्दछ। हामी GaN/AlN epitaxy मा कोटिंग अखंडता, कण नियन्त्रण, र प्रक्रिया शुद्धता को महत्वपूर्ण महत्व बुझ्छौं। हाम्रो सेवा ग्राहकहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो जसलाई महँगो CVD SiC कोटिंग्सको लागि पूर्ण सुरक्षा चाहिन्छ जबकि मेमोरी प्रभाव र ग्यास-प्रवाह अस्थिरता समस्याहरू पूर्ण रूपमा समाधान गर्दै।

· सानो ब्याच प्रमाणिकरणको लागि उपलब्ध परीक्षण सफाई

· पूर्ण COA रिपोर्ट प्रत्येक डेलिभरीको साथ प्रदान गरियो

· कोटिंग क्षति वा नयाँ प्रदूषणको शून्य जोखिम

· व्यावसायिक · सुरक्षित · प्रमाणित