उत्पादनहरू

VETEK पोरस TaC लेपित ग्रेफाइट रिंग PVT (भौतिक भाप यातायात) प्रक्रिया मार्फत SiC एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि इन्जिनियर गरिएको थर्मल फिल्ड कम्पोनेन्ट हो। यो उच्च-शुद्धता झरझरा ग्रेफाइटबाट उत्पादन गरिन्छ र CVD प्रविधि प्रयोग गरेर ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) लेपिएको हुन्छ। डिजाइनले उच्च-तापमान स्थिरता, रासायनिक लचिलोपन, र नियन्त्रित थर्मल क्षेत्र प्रदर्शनलाई लक्षित गर्दछ। प्रदूषणलाई कम गरेर र प्रक्रिया स्थिरतालाई समर्थन गरेर, यो घटकले पुन: उत्पादन योग्य SiC क्रिस्टल वृद्धि परिणामहरूमा योगदान गर्दछ।

VETEK CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट RTP RTA क्यारियर द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP) र र्यापिड थर्मल एनिलिङ (RTA) सेमीकन्डक्टर निर्माणमा प्रयोग हुने प्रणालीहरूको लागि डिजाइन गरिएको हो। बाक्लो CVD SiC कोटिंगको साथ उच्च-शुद्धता आइसोस्टेटिक ग्रेफाइटबाट निर्मित, यसले उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, उत्कृष्ट तापक्रम एकरूपता, उच्च रासायनिक प्रतिरोध, र अल्ट्रा-कम कण उत्पादन प्रदान गर्दछ। दोहोर्याइएको द्रुत तताउने र शीतलन चक्रहरूको सामना गर्न इन्जिनियर गरिएको, क्यारियरले सिलिकन वेफर एनिलिङ र अन्य उच्च-तापमान अर्धचालक अनुप्रयोगहरूको लागि विश्वसनीय वेफर समर्थन र स्थिर प्रक्रिया प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ।

VETEK CVD TaC कोटेड ससेप्टरले असाधारण थर्मल स्थिरता, जंग प्रतिरोध, र अर्धचालक एपिटेक्सीको मागको लागि कम कण उत्पादन प्रदान गर्न घने CVD ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंगसँग उच्च-शुद्धता आइसोस्टेटिक ग्रेफाइट सब्सट्रेट संयोजन गर्दछ। SiC, GaN, र AlN epitaxial वृद्धिको लागि डिजाइन गरिएको, यसले प्रदूषणलाई कम गर्छ, वेफरको तापक्रम एकरूपता सुधार गर्छ, र उच्च-तापमान MOCVD र CVD प्रक्रियाहरूमा कम्पोनेन्ट सेवा जीवन विस्तार गर्दछ।

VeTek सेमीकन्डक्टरबाट CVD SiC लेपित RTP ससेप्टरले सेमीकन्डक्टर निर्माणमा प्रयोग हुने द्रुत थर्मल प्रशोधन (RTP) र द्रुत थर्मल एनिलिङ (RTA) उपकरणहरू सेवा गर्दछ। सब्सट्रेट उच्च-शुद्धता आइसोस्टेटिक ग्रेफाइटबाट मेसिन गरिएको छ, जसमा बाक्लो CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) तह जम्मा गरिएको छ। यो निर्माणले उच्च तापीय चालकता, बलियो रासायनिक जडता, र दोहोरिएको उच्च-तापमान साइकल चलाउँदा दिगो आयामी स्थिरता दिन्छ।

अर्धचालक क्रिस्टल वृद्धि अनुप्रयोगहरूको मागको लागि, VETEK थ्री-पीस ग्रेफाइट क्रुसिबलले प्रक्रियालाई आवश्यक पर्ने स्थिरता, शुद्धता र थर्मल समानता प्रदान गर्दछ। उच्च-ग्रेड आइसोस्टेटिक ग्रेफाइटबाट बनेको—वैकल्पिक SiC, TaC, वा PyC कोटिंग्ससहित—यसको विभाजन डिजाइन सुविधाको लागि मात्र होइन। यसले सक्रिय रूपमा थर्मल तनाव कम गर्दछ, मर्मतलाई छिटो बनाउँछ, र चक्र पछि चक्र प्रदर्शन गरिरहन्छ।

VETEK PG (Pyrolytic Graphite) Coated Ring उद्देश्य-निर्मित अर्धचालक थर्मल क्षेत्र र क्रिस्टल वृद्धि वातावरणको लागि बनाइएको हो जहाँ समान ताप वितरण र स्थिर तापक्रम गैर-वार्तालाप गर्न सकिँदैन। उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आधारबाट सुरु गरी घने पाइरोलाइटिक ग्रेफाइट कोटिंगको साथ समाप्त भएको, यो कम्पोनेन्टले असाधारण थर्मल चालकता प्रदान गर्दछ, गम्भीर थर्मल झटकामा खडा रहन्छ, र चरम तापक्रममा लामो रनहरूमा यसको आयामहरू कायम राख्छ। तपाईंले क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेसहरू, उच्च-तापमान ओभनहरू, र अर्धचालकहरूका लागि थर्मल फिल्ड एसेम्ब्लीहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग हुने यी रिंगहरू फेला पार्नुहुनेछ — जहाँ पनि सटीक तापक्रम नियन्त्रणले सीधै प्रक्रिया दोहोर्याउने क्षमता र अन्तिम उत्पादनको गुणस्तरलाई ड्राइभ गर्छ।