CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट RTP RTA क्यारियर

उत्पादन सुविधाहरू

· कोर उपकरण:र्यापिड थर्मल एनिलिङ (आरटीए) र र्यापिड थर्मल प्रोसेसिंग (RTP) प्रणालीहरूको लागि डिजाइन गरिएको।

· प्राइमाry Aआवेदन: अर्धचालक वेफर annealing प्रक्रियाहरूको लागि अनुकूलित।

· ओपeमूल्याङ्कन Teतापक्रम:200°C देखि 700°C सम्म स्थिर सञ्चालन।

· Excप्रफुल्लित थिएmal एकरूपता: लगातार वेफर प्रशोधनको लागि पनि तातो वितरण सुनिश्चित गर्दछ।

· कम कणGउत्पादन: घना CVD SiC कोटिंगले प्रदूषणलाई कम गर्छ र उत्पादन उपज सुधार गर्दछ।

· उच्च रासायनिक प्रतिरोध:थर्मल प्रशोधन को समयमा अक्सीकरण र संक्षारक प्रक्रिया ग्यास प्रतिरोधी।

· उत्कृष्टg थर्मअल शक प्रतिरोध: दोहोरिएको द्रुत ताप र शीतलन चक्र मार्फत संरचनात्मक अखण्डता कायम राख्छ।

· लामो सेवा जीवन:पहिरन-प्रतिरोधी SiC कोटिंगले कम्पोनेन्टको जीवनकाललाई महत्त्वपूर्ण रूपमा विस्तार गर्दछ र मर्मत लागत घटाउँछ।

· अनुकूलनउत्पादन:विभिन्न RTP/RTA उपकरणहरू मिलाउन विभिन्न आकार र कन्फिगरेसनहरूमा उपलब्ध छ।

प्राविधिक विनिर्देशहरू

अनुप्रयोगहरू

·द्रुत थर्मल एनिलिङ (आरटीए)

· द्रुत थर्मल प्रोसेसिंग (RTP)

· सिलिकन वेफर एनीलिंग

· डोपन्ट सक्रियता

· ओक्सीकरण

· प्रसार

·कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टर निर्माण

·MEMS निर्माण

·पावर अर्धचालक प्रशोधन

FAQ

1. RTP/RTA वाहक के हो?

एक RTP/RTA क्यारियर एक वेफर समर्थन घटक हो जुन द्रुत थर्मल प्रशोधन र द्रुत थर्मल एनिलिङ प्रणालीहरूमा प्रयोग गरिन्छ। यसले थर्मल चक्रमा समान ताप स्थानान्तरण प्रदान गर्दा सेमीकन्डक्टर वेफरहरू सुरक्षित रूपमा राख्छ।

2. किन CVD SiC कोटिंगलाई प्राथमिकता दिइन्छ?

बेयर ग्रेफाइटको तुलनामा, CVD SiC कोटिंगले उत्कृष्ट अक्सिडेशन प्रतिरोध, कम कण उत्पादन, राम्रो रासायनिक स्थिरता, र उल्लेखनीय रूपमा लामो सेवा जीवन प्रदान गर्दछ।

3. के VETEK ले अनुकूलित RTP/RTA वाहकहरू प्रदान गर्न सक्छ?

हो। VETEK ले ग्राहक रेखाचित्रको आधारमा अनुकूलित RTP/RTA वाहकहरू प्रदान गर्दछ।