SIC कोडि color कलेक्टर तल

Veetce Semiconducore एक उच्च गुणवत्ता प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छCVD TAC कोटिंगर CVD SIC कोटिंग कभर कलेक्शनर तल र हाम्रो ग्राहकहरुको आवश्यकताहरू पूरा गर्न AIXtron उपकरणको साथ नजिकबाट काम गर्दछ। चाहे प्रक्रियाको अनुकूलन वा नयाँ उत्पाद विकासमा, हामी तपाईंलाई प्राविधिक समर्थनका साथ प्रदान गर्न तयार छौं र हुन सक्ने कुनै पनि प्रश्नको उत्तर दिनुहोस्।

उत्पाद कोर प्रकार्य

प्रक्रिया स्थिरता ग्यारेन्टी

तापमान ग्रेडियन्ट नियन्त्रण: ±1.51/CM@1200℃

प्रवाह क्षेत्र अनुकूलन: विशेष च्यानल डिजाइन प्रतिक्रिया ग्यास वितरणको एक समानता 9 2 .6% सम्म बनाउँछ

उपकरण संरक्षण संयन्त्र

दोहोरो संरक्षण:

थर्मल मँड बफर: 10 ℃ / s द्रुत तापमान परिवर्तनको सामना गर्नुहोस्

कण मध्यस्थता: ट्र्यापिंग> 0.3μm.3μm सेन फल्याट कणहरू

कटनी-एड टेक्नोलोजीको मैदानमा

सम्पूर्ण प्रक्रिया गुणस्तर नियन्त्रण

उत्पादन ट्रेसनाली प्रणाली

कच्चा मालहरूको स्रोत: जापानबाट टोकई / टोयो ग्राफिट, जर्मनीबाट एसजीएल ग्राफेट

डिजिटल ट्वीन अनुगमन: प्रत्येक कम्पोनेन्ट एक स्वतन्त्र प्रक्रिया प्यारामिटर डाटाबेसमा मिल्दछ

आवेदन परिदृश्य:

तेस्रो पुस्ता सेमी बुन्ड्रन्ड्रक्टर निर्माण

परिदृश्य:-इन्च SIC एपिट्याजिकल बृद्धि (100-150-1500μm एमएम मोटोपन नियन्त्रण)

कम्पोलिलो मोडेल: AIXtron G5 WW / crius II

AIXtron SCIT COTED CATER COPLER शीर्ष, स collect ्कर केन्द्र र SICALE CATELERGER, थर्मल व्यवस्थापन र रासायनिक सुरक्षा अनुकूल हुन सक्छ, र फिल्मको गुणस्तर र स्थिरता सुधार गर्न सकिन्छ। Aixtron उपकरणमा यी कम्पोनेन्टहरूको संयोजनले स्थिर प्रक्रिया सर्तहरू र दक्ष अर्धविका कम्पोजर उत्पादन।

CVD SIC फिल्मको SEM डाटा