एक पेशेवर SiC कोटिंग वेफर वाहक निर्माता र आपूर्तिकर्ताको रूपमा, Vetek सेमीकन्डक्टरको SiC कोटिंग वेफर वाहकहरू मुख्यतया उच्च तापमान र संक्षारक वातावरणमा तिनीहरूको स्थिरता र अखण्डता सुनिश्चित गर्दै एपिटेक्सियल तहको वृद्धि एकरूपता सुधार गर्न प्रयोग गरिन्छ।
Vetek Semiconductor उच्च प्रदर्शन SiC कोटिंग वेफर क्यारियर निर्माण र आपूर्ति मा माहिर छ र सेमीकन्डक्टर उद्योग को उन्नत प्रविधि र उत्पादन समाधान प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ।
अर्धचालक निर्माणमा, भेटेक सेमीकन्डक्टरको SiC कोटिंग वेफर क्यारियर रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) उपकरणमा, विशेष गरी धातु जैविक रासायनिक भाप निक्षेप (MOCVD) उपकरणहरूमा एक प्रमुख घटक हो। यसको मुख्य कार्य भनेको एकल क्रिस्टल सब्सट्रेटलाई समर्थन र तताउनु हो ताकि एपिटेक्सियल तह समान रूपमा बढ्न सक्छ। यो उच्च गुणस्तरीय अर्धचालक यन्त्रहरू निर्माण गर्न आवश्यक छ।
SiC कोटिंगको जंग प्रतिरोध धेरै राम्रो छ, जसले ग्रेफाइट आधारलाई संक्षारक ग्याँसहरूबाट प्रभावकारी रूपमा सुरक्षित गर्न सक्छ। यो उच्च तापमान र संक्षारक वातावरण मा विशेष गरी महत्त्वपूर्ण छ। थप रूपमा, SiC सामग्रीको थर्मल चालकता पनि धेरै उत्कृष्ट छ, जसले समान रूपमा गर्मी सञ्चालन गर्न र समान तापमान वितरण सुनिश्चित गर्न सक्छ, जसले गर्दा एपिटेक्सियल सामग्रीको वृद्धि गुणस्तर सुधार गर्दछ।
SiC कोटिंगले उच्च तापमान र संक्षारक वातावरणमा रासायनिक स्थिरता कायम राख्छ, कोटिंग विफलताको समस्याबाट बच्न। अझ महत्त्वपूर्ण कुरा, SiC को थर्मल विस्तार गुणांक ग्रेफाइटसँग मिल्दोजुल्दो छ, जसले थर्मल विस्तार र संकुचनका कारण कोटिंग शेडिङको समस्याबाट बच्न सक्छ, र कोटिंगको दीर्घकालीन स्थिरता र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्दछ।
को आधारभूत भौतिक गुणहरूSiC कोटिंग वेफर क्यारियर:
CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण
सम्पत्ति
सामान्य मान
क्रिस्टल संरचना
FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख
घनत्व
३.२१ ग्राम/सेमी³
कठोरता
2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज आकार
2~10μm
रासायनिक शुद्धता
९९.९९९९५%
गर्मी क्षमता
640 J·kg-१· के-१
उदात्तीकरण तापमान
2700 ℃
फ्लेक्सरल शक्ति
415 MPa RT 4-बिन्दु
युवाको मोडुलस
430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता
300W·m-१· के-१
थर्मल विस्तार (CTE)
४.५ × १०-६K-१
उत्पादन पसल:
अर्धचालक चिप epitaxy उद्योग श्रृंखला को सिंहावलोकन:
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
हामी तपाईंलाई राम्रो ब्राउजिङ अनुभव प्रदान गर्न, साइट ट्राफिक विश्लेषण र सामग्री निजीकृत गर्न कुकीहरू प्रयोग गर्छौं। यो साइट प्रयोग गरेर, तपाईं कुकीहरूको हाम्रो प्रयोगमा सहमत हुनुहुन्छ। गोपनीयता नीति