AMAT 0200-03201 CVD SiC वेफर लिफ्ट पिन

उत्पादन सुविधाहरू

 ● उच्च शुद्धता ग्रेफाइट कोर + CVD SiC कोटिंग - वास्तविक अर्धचालक उत्पादनको लागि निर्मित।

 ● चक्र पछि मेकानिकल स्थिरता चक्र नगुमाई उच्च-तापमान एपिटाक्सी रन ह्यान्डल गर्दछ।

 ● पातलो पर्खालको आकारले थर्मल मास घटाउँछ र वेफर ह्यान्डलिङ परिशुद्धतामा सुधार गर्छ।

 ● SiC तह आक्रामक प्रक्रिया ग्यासहरू र रासायनिक सफाईको लागि खडा हुन्छ।

 ● चिल्लो, एकसमान कोटिंगको अर्थ कम कण बहाव र अधिक स्थिर प्रशोधन हो। हामीले महत्वपूर्ण अर्धचालक भागहरूको लागि CNC मेसिनिङसँग कडा सहिष्णुता राख्छौं।

CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण

अनुप्रयोगहरू

 ● सिलिकन एपिटेक्सी (Si EPI) - 300mm रिएक्टरहरू भित्र उठाउने, स्थिति निर्धारण गर्ने, र वेफरहरू सार्ने।

 ● सामान्य अर्धचालक वेफर प्रशोधन जहाँ तपाईलाई तातो स्थिरता, क्षरण प्रतिरोध, कम कणहरू, र लामो भाग जीवन चाहिन्छ।

 ● AMAT epitaxy चेम्बरहरू र उपयुक्त वेफर ह्यान्डलिङ प्रणालीहरू।

किन VeTek सेमीकन्डक्टर छनौट गर्नुहोस्

 ● उच्च शुद्धता SiC लेपित ग्रेफाइट जुन अर्धचालक प्रयोगको लागि हो।

 ● थर्मल स्थिरता र रासायनिक प्रतिरोध दुवै ठोस छन्।

 ● सहिष्णुतालाई कडा राख्नुहोस् — सटीक मेसिनिङ हाम्रो कुरा हो।

 ● AMAT, ASM, Aixtron, र LPE सँग मिल्दो।