सिलिकन कार्ब्याइड एपिटक्सिटीको सामग्री

सिलिकन कार्बर्ड, रासायनिक सूत्र SIC को साथ, सिलिकन (SI) र कार्बन (c) तत्वहरू बीच कडा आर्टिनेटर सामग्री द्वारा गठन एक कम्पाउन्ड अर्धविद् सामग्री हो। यसको उत्कृष्ट शारीरिक र रासायनिक गुणहरूको साथ, यसले धेरै औद्योगिक खेतमा बढि महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, विशेष गरी अनुगमन अर्धविका निर्माण प्रक्रियामा।

Ⅰ। सिलिकन कार्बइड (SIC) को कोर भौतिक गुणहरू

SIC को भौतिक गुणहरू बुझ्ने आधार मान बुझ्ने आधार हो:

1) उच्च कठोरता:

अनुमानको मुहामको कठोरता counter-95.5 को करीव 9-7 .. छ, दोस्रो मात्र। यसको मतलब यो हो कि यसले उत्कृष्ट लगाई र स्क्र्याच प्रतिरोध छ।

आवेदन मान: अर्धडी प्रोसेसिंगमा, यसको मतलब SIC (जस्तै रोबोट हतियारमा बनेका हुन्छौं) लगाउँदा, कटौतीको पुस्तालाई सुधार्नुहोस्।

2) उत्कृष्ट थर्मल गुणहरू:

● उच्च थर्मल संकुचितता: 

The thermal conductivity of SiC is much higher than that of traditional silicon materials and many metals (up to 300−490W/(m⋅K) at room temperature, depending on its crystal form and purity).

अनुप्रयोग मान: यसले तातो र कुशलताका साथ गर्मी हटाउन सक्छ। यो उच्च शक्ति अर्धोन्डुनिकल उपकरणहरूको गर्मी असन्तुष्टिको लागि महत्वपूर्ण छ, जसले उपकरणलाई पूर्वाग्रह र असफलताबाट रोक्न सक्छ, र विश्वको विश्वसनीयता र उपकरणको प्रदर्शनलाई सुधार गर्न सक्छ। प्रक्रिया उपकरणहरूमा, जस्तै हितोपटक वा चिसो प्लेटहरू, उच्च थर्मल स collection ्ग्रहको एकरूपता र द्रुत प्रतिक्रिया।

● कम थर्मल विस्तार गुणांक: एक फराकिलो तापमान दायरामा थोरै आयामी परिवर्तन भएको छ।

आवेदन मान: अर्धडी टेम्पोक्टरी प्रक्रियाहरूमा जुन कट्टरपन्थी तापक्रम परिवर्तन हुन्छ (जस्तै द्रुत थर्मल एनिमेटेड), तनाव र विकृति कम गर्न सक्दछ।

Qually उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता: SIC ले उच्च तापमानमा यसको संरचना र प्रदर्शन स्थिरता कायम राख्न सक्दछ, र 10000 ∘c वा एक URRT वातावरणमा पनि कम गर्न सक्दछ।

अनुप्रयोग मान: एपिट्याक्सल बृद्धि, अक्डिडेशन, प्रसारण, आदि जस्ता उच्च-तापमान प्रक्रिया वातावरणहरूको लागि उपयुक्त।

Phool राम्रो थर्मल दुख्य प्रतिरोध: क्र्याकिंग वा क्षति बिना द्रुत तापक्रम परिवर्तन गर्न सक्षम।

आवेदन मान: SIC कम्पोनेन्टहरू प्रक्रिया चरणहरूमा अधिक टिकाऊ हुन् जुन द्रुत तापक्रम बढ्छ र खस्छ।

)) उच्च इलेक्ट्रिकल गुणहरू (विशेष गरी सेमीन्डुनिक उपकरणहरूको लागि):

● चौडा ब्यान्डविप: SIC को ब्यान्डविट (एसआई) को करीव तीन गुणा (उदाहरण को लागी तीन गुणा (उदाहरण को लागी तीन पटक हो (उदाहरण को लागी 4h-si.26ev र si छ)।

आवेदन मान:

उच्च अपरेटिंग तापमान: फराकिलो ब्यान्डप्यापले साइज उपकरणहरूको घुसपैठिक वाहक सांद्रता प्रदान गर्दछ उच्च तापमानमा अझै कम कम कम हुन्छ, त्यसैले यसले सिलिकन उपकरणहरू भन्दा बढी सञ्चालन गर्न सक्दछ (300∘C वा अधिक)।

उच्च ब्रेकडाउन इलेक्ट्रिक फिल्ड: SIC को ब्रेकडाउन विद्युतीय क्षेत्र सिलिकनको करीव 10 पटक हो। यसको मतलव समान भोल्टेज प्रतिरोध स्तरमा, SIC उपकरणहरूमा पातलो उपकरणहरू बनाउन सकिन्छ र बहाव क्षेत्र प्रतिरोध सानो छ, यसैले चार्सन घाटा घटाउँछ।

कडा विकिरण प्रतिरोध: फराकिलो ब्यान्ड्याप पनि यसलाई राम्रो विकिरण प्रतिरोध हुन्छ र विशेष वातावरणको लागि उपयुक्त छ जस्तो विशेष वातावरणको लागि उपयुक्त छ

● उच्च परिष्कृत इलेक्ट्रन बहाव वेग: संतृप्ति इलेक्ट्रॉन बहाव वेग सिलिकको दुई गुणा चाँदीको छ।

आवेदन मान: यसले उच्च स्विच फ्रिक्वेन्सीहरूमा सञ्चालन गर्न SIC उपकरणहरू सक्षम गर्दछ, जुन निष्क्रिय कम्पोनेन्टहरू जस्ता निष्क्रिय कम्पोनेन्टहरू र प्रणाली पावर घनत्व सुधार गर्न फाइदाजनक हुन्छ।

)) उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता:

SIC ले कडा परिश्रमको प्रतिरोधसँग र अधिक एसिडहरू, आधारहरू वा पग्लिएर राइलो नुनको साथ प्रतिक्रिया गर्दैन। यसले केहि कडा ऑक्सीडेटेन्ट वा पग्लिएको भन्दा मात्र प्रतिक्रिया गर्दछ।

आवेदन मान: प्ररोक्लोटिभ रसायनहरू समावेशिक रसायनहरू जस्तै अर्धोनिकल रसायनहरू जस्तै अर्धविका भिचिएर र सफाई, sice घन, पाइपहरू, र नोजलहरू (जस्ता डु boats ्गा, पाइपहरू) हुन्छन्। सुक्खा प्रक्रियाहरूमा जस्तै प्लाज्मा एचि ing, यो प्लाज्मामा सहिष्णुता धेरै परम्परागत सामग्रीहरू भन्दा पनि उत्तम छ।

))उच्च शुद्धता (उच्च शुद्धता प्राप्तयोग्य):

उच्च वास्तविकता आकारका सामग्रीहरू रासायनिक बाल जम्मा (CVD) द्वारा विधिहरू द्वारा तयार गर्न सकिन्छ।

प्रयोगकर्ता मान: अर्धोन्डरकन निर्माणमा, भौतिक शुद्धता महत्वपूर्ण छ, र कुनै पनि अशुद्धताले उपकरण प्रदर्शन र उत्पादनलाई असर गर्न सक्छ। उच्च-शुद्धिकता SIC कम्पोनेन्टहरूले सिलिकन वेफर वा प्रक्रिया वातावरणको प्रदूषण कम गर्दछ।

Ⅱ। सिलिकन कार्ब्याइड (SIC) EPITAXIIL को सब्सट्रेटको रूपमा

SIC एकल क्रिस्टल वेफरहरू उच्च प्रदर्शन एसआरटी सेरिक पावर उपकरणहरू (जस्तै मस्फेट्स, jsets, Sbds) र Ghanud nitride (Gan) rf / पावर उपकरणहरू छन्।

विशिष्ट अनुप्रयोग परिदृश्यहरू र प्रयोगहरू:

1) SIC-ic-SIC एपिटक्सक्स:

प्रयोग गर्नुहोस्: उच्च-शुद्धिकता अनुमानित क्रिस्टल सब्सट्रेटमा, विशिष्ट डोपिंग र मोटात्मक लेमिकता को साथ रासायनिक बाल एपिट्याक्सक्स (CVD) द्वारा उब्जाउन सकिन्छ।

आवेदन मान: SIC प्रतिलिपिको उत्कृष्ट थर्मल संकुचित संभावनाले उपकरणलाई गर्मी असन्तुष्ट पार्न मद्दत गर्दछ, र विस्तृत ब्यान्डपप सुविधाहरूले उपकरणलाई उच्च भोल्टेज, उच्च आवृत्ति अपरेसनलाई सामना गर्न सक्षम गर्दछ। यसले SIC पावर उपकरणहरूलाई नयाँ ऊर्जा वा विद्युत् वञ्चितहरू चार्ज गर्दै, औद्योगिक मोटर ड्राइभहरू, स्मार्ट ग्रिडहरू र अन्य क्षेत्रहरू कम गर्दछ, उल्लेखनीय रूपमा सुधार गर्ने प्रणाली आकार र वजन कम गर्दछ।

2) Gan-on-SIC EPITAXAXAX:

प्रयोग गर्नुहोस्: SIC सब्सट्रेटहरू उच्च-गुणवत्ता जीवरेक्टिअटाइजिकल तहहरू (विशेष गरी उच्च-पावरनसेस उपकरणहरू) गेप्लेटहरू र सिलिकनसँग मिल्दोका कारणहरू छन् (धेरै उच्च थर्मल संकुचित)।

आवेदन मान: SIC सब्सट्रेटहरूले सञ्चालनको क्रममा गान उपकरणहरूद्वारा उत्पन्न गर्मीको गर्मीमा प्रभावकारी मात्रामा व्यवहार गर्न सक्दछन्। यसले Gan-Oc-SIC उपकरणहरू गर्दछ संचार आधार स्टेशनहरू, रावल प्रणालीहरू, इलेक्ट्रोनिक काउन्टरमेजरहरू र अन्य क्षेत्रहरू।

Ⅲ। सिलिकन कार्बइड (SIC) को आवरण (SIC)

SIC कोटिंग्स प्राय: अनुपार्यको सतहको सतहमा जम्मा गरिन्छ जस्तै cvrics CVID विधि द्वारा सब्सट्रेट विधि द्वारा सब्सट्रेट विधि द्वारा सब्सट्रेस साइज।

विशिष्ट अनुप्रयोग परिदृश्यहरू र प्रयोगहरू:

1) प्लाज्मा उपकरण कम्पोनेन्ट्स:

कम्पोनेन्टहरूको उदाहरणहरू: नुहाओहेडहरू, कोठा लाइनरहरू, ESC सतहहरू, फोकस रिंगहरू, एच विन्डोजहरू।

प्रयोगहरू: एक प्लाज्मा वातावरणमा, यी कम्पोनेन्टहरू उच्च-उर्जा एरेस र क्षतिग्रस्त ग्याँसहरूले बम विष्फोट भएका हुन्छन्। SIC कोटले यी आलोचनात्मक कम्पोनेन्टहरूलाई उनीहरूको उच्च कठोरता, उच्च रासायनिक स्थिरता, र प्लाज्एन्सको प्रतिरोधको साथ क्षतिबाट बचाउँछ।

आवेदन मान: कम्पोनेन्ट लाइफ विस्तार गर्नुहोस्, कम्पोनेन्टको क्षय द्वारा उत्पन्न कणहरू कम गर्नुहोस्, प्रक्रिया स्थिरता र दोहोर्याउने योग्यता, र वेरेमेन्ट प्रशोधन कम गर्नुहोस्।

2) एपिट्याजिकल बृद्धि उपकरण कम्पोनेन्टहरू:

कम्पोनेन्टहरूको उदाहरण: संसाधकहरू / वेगर क्यारियर, हीटर तत्वहरू।

प्रयोगहरू: उच्च-तापमानमा, उच्च-शुद्धता एपिट्याजिकल बृद्धि वातावरण (सामान्यतया उच्च-शुद्धता आकार) प्रक्रिया रोक्नको लागि प्रतिक्रिया रोक्न सकिन्छ।

आवेदन मान: एपिटाइजिकल लेयरको गुणस्तर र शुद्धता सुनिश्चित गर्नुहोस्, तापमान एकरूपता र सटीकता नियन्त्रण गर्नुहोस्।

)) अन्य प्रक्रिया उपकरण कम्पोनेन्टहरू:

कम्पोनेन्ट उदाहरणहरू: Mucvd उपकरणहरूको ग्राफिटी डिस्कहरू, SIC लेपित डु boats ्गा (प्रसार / अक्डिंगेशनको लागि डु boats ्गा)।

प्रयोगहरू: कोरोग-प्रतिरोधी, उच्च-तापमान प्रतिरोधी, उच्च-शुद्धता सतहहरू प्रदान गर्नुहोस्।

आवेदन मान: प्रक्रिया विश्वसनीयता र घटक जीवन सुधार गर्नुहोस्।

Ⅳ। सिलिकन कार्थ्रेड (SIC) को अनुप्रयोग अन्य विशिष्ट उत्पादन कम्पोनेन्टहरू (अन्य विशिष्ट उत्पाद कम्पोनेन्टहरू)

सब्सट्रेट र कोटिंगको अतिरिक्त, SIC आफैंमा यसको उत्कृष्ट विस्तृत प्रदर्शनको कारण विभिन्न प्राथमिकता घटकहरूमा पनि प्रशोधन गरिएको छ।

विशिष्ट अनुप्रयोग परिदृश्यहरू र प्रयोगहरू:

1) वेफर ह्यान्डलिंग र स्थानान्तरण कम्पोनेन्टहरू:

कम्पोनेन्टहरूको उदाहरण: रोबोट अन्त्य प्रतिस्पर्धा, भ्याकुम चकहरू, किनारा ग्रिप्स, लिफ्ट पिनहरू।

प्रयोग गर्नुहोस्: यी कम्पोनेन्टहरूलाई उच्च कठोरता, हामिल्स लगाउने प्रतिरोध, कम थर्मल विस्तार र उच्च शुद्धता, कुनै पनि पराल र उच्च परिशुद्धतामा कुनै विकृति छैन जब उच्च गति र उच्च परिशुद्धतामा वाफरहरूको कारणले कुनै विकृति छैन

अनुप्रयोग मान: वेब प्रसारणको विश्वसनीयता र स्वच्छता सुधार गर्नुहोस्, वेफर क्षतिलाई कम गर्नुहोस्, र स्वचालित उत्पाद लाइनहरूको स्थिर संचालन सुनिश्चित गर्नुहोस्।

2) उच्च तापमान प्रक्रिया संरचना संरचना संरचना संरचना:

कम्पोनेन्टहरूको उदाहरणहरू: ध्वनिहरू / अक्सिजनहरू, डु boat ्गा / क्यान्टिलभरहरू, थर्मुकोपल संरक्षण ट्यूबहरू, नोजलहरू, नोजजल्सले नोजेलहरू, नोजलहरू।

अनुप्रयोग: SIC को उच्च तापमान शक्ति, थर्मल शव्द प्रतिरोध प्रतिरोध प्रतिरोध प्रतिरोध प्रतिरोध प्रतिरोध प्रतिरोध प्रतिरोध र कम प्रदूषण विशेषताहरू प्रयोग गर्दछ।

आवेदन मान: उच्च तापमान अक्सीकरण, प्रसारण र अन्य प्रक्रियाहरूमा स्थिर प्रक्रिया वातावरण प्रदान गर्नुहोस्, अनाज्ञा र अन्य प्रक्रियाहरू, उपकरण जीवन विस्तार र मर्मत कम गर्दछ।

)) प्रेजशीलता सिरामिक कम्पोनेन्टहरू:

कम्पोनेन्ट उदाहरण: बोयतहरू, सिलहरू, गाईडहरू, प्लेटहरू पल्टिपेडहरू।

अनुप्रयोग: SIC को उच्च कठोरता प्रयोग, प्रतिरोध, प्रतिरोध प्रतिरोध र आयामी स्थिरता प्रयोग गर्दछ।

आवेदन मान: केहि मेकानिकल कम्पोनेन्टहरूमा उत्कृष्ट प्रदर्शन जुन उच्च परिशुद्धता, लामो अर्थमुक्त, लामो जीवन र कठोरताका प्रतिरोध (रासायनिक मेकानिकल पॉलिसिंग) उपकरणहरू।

)) अप्टिकल कम्पोनेन्टहरू:

कम्पोनेन्ट उदाहरणहरू: UV / एक्स-एक्स-रे अप्टिकल, अप्टिकल विन्डोजहरूको लागि दर्पणहरू।

प्रयोगहरू: SIC को उच्च कठोरता, कम थर्मल विस्तार, उच्च थर्मल संकुचित र पोजरीले यसलाई ठूलो मात्रामा, उच्च-स्थान टेलिस्कोप वा समक्रमण विकिरण स्रोतहरू बनाउँदछ।

आवेदन मान: उत्कृष्ट अप्टिकल प्रदर्शन र चरम सर्तहरूमा आयामी स्थिरता प्रदान गर्दछ।