CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित ग्रेफाइट शावर हेड

मुख्य विशेषताहरु

• अल्ट्रा-उच्च शुद्धता - SiC कोटिंगले ग्रेफाइटलाई पूर्ण रूपमा सील गर्छ, त्यसैले कुनै बाहिर निस्कने वा धातु प्रदूषण हुँदैन।

• उत्कृष्ट ग्यास वितरण - प्रत्येक नुहाउने टाउकोलाई सम्पूर्ण वेफरमा लगातार ग्यासको गति प्रदान गर्न मेसिन गरिएको छ।

• सुपीरियर क्षरण प्रतिरोध - CVD SiC ले हलोजेन्स वा प्रक्रिया अवशेषहरूसँग प्रतिक्रिया गर्दैन। यो नंगे ग्रेफाइट वा क्वार्ट्ज भन्दा धेरै लामो समय सम्म रहन्छ।

• उत्कृष्ट थर्मल कार्यसम्पादन - कोटिंगले ग्रेफाइटको थर्मल विस्तारलाई नजिकबाट मेल खान्छ, त्यसैले द्रुत तापमान र्याम्पहरूमा कुनै क्र्याक हुँदैन।

• सटीक उत्पादन - हामी CNC मेसिन र घर भित्र CVD कोटिंग प्रयोग गर्छौं। प्वाल व्यास र ढाँचाहरू कडा सहिष्णुतामा राखिएको छ।

प्राविधिक विनिर्देशहरू

अनुप्रयोगहरू

यी नुहाउने टाउकोमा प्रयोग गरिन्छ:

• अर्धचालक CVD प्रणालीहरू (उत्पादन र अनुसन्धान र विकास दुवै)

• PECVD उपकरण - कम-तापमान डाइलेक्ट्रिकहरू

• MOCVD रिएक्टरहरू - III-V कम्पाउन्डहरू जस्तै GaN, InP

• सिलिकन एपिटेक्सी (Si Epi) - पावर उपकरणहरू र CMOS को लागि

• SiC epitaxy - उच्च-भोल्टेज पावर इलेक्ट्रोनिक्स

• मिश्रित अर्धचालक फैब्स

• उन्नत प्याकेजिङ्ग (जस्तै, TSV लाइनर डिपोजिसन)

• कुनै पनि पातलो-फिल्म उपकरण जसलाई क्षरण-प्रूफ, उच्च-शुद्धता ग्यास वितरक चाहिन्छ।

किन VETEK छान्नुहोस्?

• हामी व्यापारिक कम्पनी होइनौं। सबै कुरा - ग्रेफाइट मेसिनिंग देखि अन्तिम CVD SiC कोटिंग सम्म - घर भित्र गरिन्छ। यसको मतलब हामी गुणस्तर, नेतृत्व समय, र लागत नियन्त्रण गर्छौं।

• घरभित्र निर्माण पूरा गर्नुहोस् - कुनै आउटसोर्सिङ आश्चर्य छैन

• उन्नत कोटिंग प्रविधि - बाक्लो, पिन-होल-रहित CVD SiC

• अनुकूलन ईन्जिनियरिङ् समर्थन - हामीलाई तपाईंको नुहाउने हेड रेखाचित्र वा केवल रिएक्टर मोडेल पठाउनुहोस्

• भरपर्दो अर्धचालक आपूर्ति श्रृंखला - हामीले वर्षौंदेखि fabs र OEM हरू आपूर्ति गर्दै आएका छौं

• तपाईंले हरेक पटक नयाँ डिजाइन पुन: योग्य बनाउनु पर्दैन। हामीले धेरै साझा प्लेटफर्महरू (AMAT, TEL, LAM, ASM, आदि) को लागि पहिले नै नुहाउने हेडहरू लेपित गरेका छौं।