PECVD को लागि ग्रेफाइट डुङ्गा

आवेदन: PECVD को लागि Veteksemicon ग्रेफाइट डुङ्गा प्लाज्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प निक्षेप प्रक्रियामा एक मुख्य घटक हो। यो विशेष गरी उच्च गुणस्तरको सिलिकन नाइट्राइड, सिलिकन अक्साइड र अन्य पातलो फिल्महरू सिलिकन वेफर्स, कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टरहरू र डिस्प्ले प्यानल सब्सट्रेटहरूमा जम्मा गर्नको लागि डिजाइन गरिएको हो। यसको प्रदर्शनले प्रत्यक्ष रूपमा चलचित्र एकरूपता, प्रक्रिया स्थिरता र उत्पादन लागत निर्धारण गर्दछ।

प्रदान गर्न सकिने सेवाहरू: ग्राहक आवेदन परिदृश्य विश्लेषण, मिल्दो सामग्री, प्राविधिक समस्या समाधान।

कम्पनी प्रोफाइल：Veteksemicon सँग 2 प्रयोगशालाहरू छन्, विज्ञहरूको टोलीसँग 20 वर्षको सामग्री अनुभव, R&D र उत्पादन, परीक्षण र प्रमाणीकरण क्षमताहरू छन्।

सामान्य उत्पादन जानकारी

उत्पादन व्यापार सर्तहरू

मुख्य आवेदन क्षेत्रहरू

PECVD कोर फाइदाहरूको लागि Veteksemicon ग्रेफाइट डुङ्गा

1. उच्च-शुद्धता सब्सट्रेटहरू, स्रोतबाट प्रदूषण नियन्त्रण

1600°C को निरन्तर सञ्चालन वातावरणमा पनि यसले धातुको अशुद्धतालाई प्रक्षेपित गर्दैन भन्ने कुरा सुनिश्चित गर्न हामी आधार सामग्रीको रूपमा 99.995% भन्दा बढीको स्थिर शुद्धताको साथ आइसोस्टेटिकली प्रेस गरिएको उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट प्रयोग गर्न जोड दिन्छौं। यो कडा सामग्री आवश्यकताले सीधै क्यारियर प्रदूषणको कारणले हुने वेफर प्रदर्शन गिरावटबाट बच्न सक्छ, उच्च गुणस्तरको सिलिकन नाइट्राइड वा सिलिकन अक्साइड फिल्महरू जम्मा गर्नको लागि सबैभन्दा आधारभूत ग्यारेन्टी प्रदान गर्दछ।

2. प्रक्रिया एकरूपता सुनिश्चित गर्न सटीक थर्मल क्षेत्र र संरचनात्मक डिजाइन

व्यापक तरल सिमुलेशन र प्रक्रिया मापन डेटा मार्फत, हामीले डुङ्गाको स्लट कोण, गाईड ग्रूभ गहिराई, र ग्यास प्रवाह मार्गलाई अनुकूलित गरेका छौं। यो सावधानीपूर्वक संरचनात्मक विचारले वेफर्सहरू बीच प्रतिक्रियाशील ग्यासहरूको समान वितरणलाई सक्षम बनाउँछ। वास्तविक मापनले देखाउँदछ कि पूर्ण लोडमा, एउटै ब्याचमा वेफर्सहरू बीचको फिल्म मोटाईको एकरूपता विचलनलाई ± 1.5% भित्र स्थिर रूपमा नियन्त्रण गर्न सकिन्छ, उल्लेखनीय रूपमा उत्पादनको उपजमा सुधार हुन्छ।

3. विशिष्ट प्रक्रिया जंग सम्बोधन गर्न अनुकूलित कोटिंग समाधान

विभिन्न ग्राहकहरूको विभिन्न प्रक्रिया ग्यास वातावरणहरू पूरा गर्न, हामी दुई परिपक्व कोटिंग विकल्पहरू प्रस्ताव गर्दछौं: पाइरोलाइटिक कार्बन र सिलिकन कार्बाइड। यदि तपाइँ मुख्यतया सिलिकन नाइट्राइड जम्मा गर्नुहुन्छ र हाइड्रोजन सफाई प्रयोग गर्नुहुन्छ भने, घने पाइरोलाइटिक कार्बन कोटिंगले हाइड्रोजन प्लाज्मा क्षरणको लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान गर्न सक्छ। यदि तपाईंको प्रक्रियामा फ्लोरिन युक्त सफाई ग्याँसहरू समावेश छन् भने, त्यसपछि उच्च-कठोरता सिलिकन कार्बाइड कोटिंग एक राम्रो विकल्प हो। यसले अत्यधिक संक्षारक वातावरणमा ग्रेफाइट डुङ्गाको सेवा जीवनलाई साधारण अनकोटेड उत्पादनहरू भन्दा तीन गुणा बढीमा विस्तार गर्न सक्छ।

4. उत्कृष्ट थर्मल झटका स्थिरता, बारम्बार तापमान चक्रहरूमा अनुकूलनीय

हाम्रो अद्वितीय ग्रेफाइट सूत्र र आन्तरिक सुदृढीकरण रिब डिजाइनको लागि धन्यवाद, हाम्रो ग्रेफाइट डुङ्गाहरूले PECVD प्रक्रियाको दोहोरिने द्रुत शीतलन र ताप झटकाहरू सामना गर्न सक्छन्। कठोर प्रयोगशाला परीक्षणहरूमा, कोठाको तापक्रमबाट 800 डिग्री सेल्सियससम्म 500 द्रुत थर्मल चक्र पछि, डुङ्गाको लचिलो बल रिटेन्सन दर अझै 90% नाघ्यो, प्रभावकारी रूपमा थर्मल तनावको कारणले गर्दा क्र्याक हुनबाट जोगिन र उत्पादन निरन्तरता र सुरक्षा सुनिश्चित गर्दै।

5. पारिस्थितिक श्रृंखला प्रमाणीकरण समर्थन

PECVD' इकोलोजिकल चेन प्रमाणीकरणका लागि Veteksemicon ग्रेफाइट डुङ्गाले कच्चा माल उत्पादनमा समेट्छ, अन्तर्राष्ट्रिय स्तरको प्रमाणीकरण पास गरेको छ, र अर्धचालक र नयाँ ऊर्जा क्षेत्रहरूमा यसको विश्वसनीयता र दिगोपन सुनिश्चित गर्न धेरै प्याटेन्टेड प्रविधिहरू छन्।

विस्तृत प्राविधिक विवरणहरू, श्वेत पत्रहरू, वा नमूना परीक्षण व्यवस्थाहरूका लागि, Veteksemicon ले तपाईंको प्रक्रिया दक्षता कसरी बढाउन सक्छ भनी अन्वेषण गर्न कृपया हाम्रो प्राविधिक समर्थन टोलीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।