MOCVD प्रविधि

VeTek सेमीकन्डक्टरसँग MOCVD टेक्नोलोजी स्पेयर पार्ट्समा फाइदा र अनुभव छ।

MOCVD, धातु-जैविक रासायनिक भाप निक्षेप (धातु-जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेप) को पूरा नाम, धातु-जैविक वाष्प चरण एपिटेक्सी पनि भन्न सकिन्छ। Organometallic यौगिकहरू धातु-कार्बन बन्डहरू भएका यौगिकहरूको वर्ग हुन्। यी यौगिकहरूले धातु र कार्बन परमाणु बीच कम्तिमा एक रासायनिक बन्धन समावेश गर्दछ। धातु-जैविक यौगिकहरू प्रायः पूर्ववर्तीको रूपमा प्रयोग गरिन्छ र विभिन्न निक्षेप प्रविधिहरू मार्फत सब्सट्रेटमा पातलो फिल्महरू वा न्यानोस्ट्रक्चरहरू बनाउन सक्छ।

धातु-जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेप (MOCVD टेक्नोलोजी) एक सामान्य epitaxial वृद्धि प्रविधि हो, MOCVD प्रविधि व्यापक रूपमा अर्धचालक लेजर र leds को निर्माण मा प्रयोग गरिन्छ। विशेष गरी जब एलईडी निर्माण गर्दा, MOCVD ग्यालियम नाइट्राइड (GaN) र सम्बन्धित सामग्रीको उत्पादनको लागि एक प्रमुख प्रविधि हो।

Epitaxy को दुई मुख्य रूपहरू छन्: तरल चरण Epitaxy (LPE) र भाप चरण Epitaxy (VPE)। ग्यास चरण एपिटेक्सीलाई थप धातु-जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेप (MOCVD) र आणविक बीम एपिटेक्सी (MBE) मा विभाजन गर्न सकिन्छ।

विदेशी उपकरण निर्माताहरू मुख्यतया Aixtron र Veeco द्वारा प्रतिनिधित्व गरिन्छ। MOCVD प्रणाली लेजरहरू, एलईडी, फोटोइलेक्ट्रिक कम्पोनेन्टहरू, पावर, आरएफ उपकरणहरू र सौर्य कक्षहरू निर्माण गर्ने प्रमुख उपकरणहरू मध्ये एक हो।

हाम्रो कम्पनी द्वारा निर्मित MOCVD प्रविधि स्पेयर पार्ट्स को मुख्य विशेषताहरु:

1) उच्च घनत्व र पूर्ण encapsulation: समग्र रूपमा ग्रेफाइट आधार उच्च तापमान र संक्षारक काम गर्ने वातावरणमा छ, सतह पूर्ण रूपमा बेरिएको हुनुपर्छ, र कोटिंग राम्रो सुरक्षा भूमिका खेल्न राम्रो घनत्व हुनुपर्छ।

2) राम्रो सतह समतलता: एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि प्रयोग गरिएको ग्रेफाइट आधारलाई धेरै उच्च सतह समतलता चाहिन्छ, कोटिंग तयार भएपछि आधारको मूल समतलता कायम राख्नुपर्छ, अर्थात्, कोटिंग तह एक समान हुनुपर्छ।

3) राम्रो बन्धन बल: ग्रेफाइट आधार र कोटिंग सामग्री बीचको थर्मल विस्तारको गुणांकमा भिन्नता घटाउनुहोस्, जसले प्रभावकारी रूपमा दुई बीचको बन्धन बल सुधार गर्न सक्छ, र उच्च र कम तापक्रम तापको अनुभव गरेपछि कोटिंग क्र्याक गर्न सजिलो हुँदैन। चक्र।

4) उच्च थर्मल चालकता: उच्च-गुणस्तरको चिप वृद्धिलाई द्रुत र एकसमान ताप प्रदान गर्न ग्रेफाइट आधार चाहिन्छ, त्यसैले कोटिंग सामग्री उच्च थर्मल चालकता हुनुपर्छ।

5) उच्च पिघलने बिन्दु, उच्च तापमान ओक्सीकरण प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध: कोटिंग उच्च तापमान र संक्षारक काम गर्ने वातावरणमा स्थिर रूपमा काम गर्न सक्षम हुनुपर्छ।

4 इन्च सब्सट्रेट राख्नुहोस्
बढ्दो एलईडीको लागि निलो-हरियो एपिटेक्सी
प्रतिक्रिया कक्षमा राखिएको छ
वेफर संग प्रत्यक्ष सम्पर्क 4 इन्च सब्सट्रेट राख्नुहोस्
UV LED epitaxial फिल्म बढाउन प्रयोग गरियो
प्रतिक्रिया कक्षमा राखिएको छ
वेफर संग प्रत्यक्ष सम्पर्क Veeco K868/Veeco K700 मेसिन
सेतो एलईडी एपिटाक्सी/निलो-हरियो एलईडी एपिटेक्सी VEECO उपकरणमा प्रयोग गरिन्छ
MOCVD Epitaxy को लागी
SiC कोटिंग ससेप्टर Aixtron TS उपकरण
गहिरो पराबैंगनी Epitaxy
२ इन्च सब्सट्रेट Veeco उपकरण
रातो-पहेंलो एलईडी Epitaxy
4 इन्च वेफर सब्सट्रेट TaC लेपित ससेप्टर
(SiC Epi/ UV LED रिसीभर) SiC लेपित ससेप्टर
(ALD/ Si Epi/ LED MOCVD ससेप्टर)