सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सी

उच्च गुणस्तरको सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सीको तयारी उन्नत प्रविधि र उपकरण र उपकरण सामानहरूमा निर्भर गर्दछ। हाल, सबैभन्दा व्यापक रूपमा प्रयोग हुने सिलिकन कार्बाइड एपिटाक्सी वृद्धि विधि रासायनिक भाप निक्षेप (CVD) हो। यसमा एपिटेक्सियल फिल्म मोटाई र डोपिङ एकाग्रता, कम दोष, मध्यम वृद्धि दर, स्वचालित प्रक्रिया नियन्त्रण, इत्यादिको सटीक नियन्त्रणको फाइदाहरू छन्, र यो एक भरपर्दो प्रविधि हो जुन सफलतापूर्वक व्यावसायिक रूपमा लागू गरिएको छ।

सिलिकन कार्बाइड CVD epitaxy ले सामान्यतया तातो पर्खाल वा न्यानो पर्खाल CVD उपकरणहरू अपनाउछ, जसले उच्च वृद्धि तापमान अवस्था (1500 ~ 1700 ℃), तातो पर्खाल वा न्यानो पर्खाल CVD को विकासको वर्ष पछि अन्तर्गत एपिटाक्सी लेयर 4H क्रिस्टलीय SiC को निरन्तरता सुनिश्चित गर्दछ। इनलेट हावा प्रवाह दिशा र सब्सट्रेट सतह बीचको सम्बन्ध, प्रतिक्रिया कक्षलाई तेर्सो संरचना रिएक्टर र ठाडो संरचना रिएक्टरमा विभाजन गर्न सकिन्छ।

एसआईसी एपिटेक्सियल फर्नेसको गुणस्तरका लागि तीनवटा मुख्य सूचकहरू छन्, पहिलो एपिटेक्सियल वृद्धि प्रदर्शन, मोटाई एकरूपता, डोपिङ एकरूपता, दोष दर र वृद्धि दर सहित; दोस्रो तताउने / शीतलन दर, अधिकतम तापक्रम, तापमान एकरूपता सहित उपकरणको तापमान प्रदर्शन हो; अन्तमा, एकल एकाइको मूल्य र क्षमता सहित उपकरणको लागत प्रदर्शन।

सिलिकन कार्बाइड epitaxial वृद्धि फर्नेस र कोर सामान भिन्नता को तीन प्रकार

तातो पर्खाल तेर्सो CVD (LPE कम्पनीको विशिष्ट मोडेल PE1O6), न्यानो पर्खाल ग्रह CVD (विशिष्ट मोडेल Aixtron G5WWC/G10) र अर्ध-तातो भित्ता CVD (नुफ्लेयर कम्पनीको EPIREVOS6 द्वारा प्रतिनिधित्व गरिएको) मुख्यधारा एपिटेक्सियल उपकरणहरू प्राविधिक समाधानहरू हुन् जुन वास्तविक बनाइएको छ। यस चरणमा व्यावसायिक अनुप्रयोगहरूमा। तीनवटा प्राविधिक उपकरणहरूको पनि आफ्नै विशेषताहरू छन् र माग अनुसार चयन गर्न सकिन्छ। तिनीहरूको संरचना निम्नानुसार देखाइएको छ:

सम्बन्धित मूल घटकहरू निम्नानुसार छन्:

(a) तातो पर्खाल तेर्सो प्रकारको कोर पार्ट- हाफमुन पार्टहरू हुन्छन्

डाउनस्ट्रीम इन्सुलेशन

मुख्य इन्सुलेशन माथिल्लो

माथिल्लो अर्धचन्द्र

अपस्ट्रीम इन्सुलेशन

संक्रमण टुक्रा 2

संक्रमण टुक्रा 1

बाह्य हावा नोजल

टेपर्ड स्नोर्कल

बाहिरी आर्गन ग्याँस नोजल

आर्गन ग्याँस नोजल

वेफर समर्थन प्लेट

केन्द्रित पिन

केन्द्रीय गार्ड

डाउनस्ट्रीम बायाँ सुरक्षा आवरण

डाउनस्ट्रीम दायाँ सुरक्षा कभर

माथिल्लो बायाँ सुरक्षा आवरण

माथिल्लो दाहिने सुरक्षा कभर

छेउको पर्खाल

ग्रेफाइट रिंग

सुरक्षात्मक अनुभूति भयो

सहयोगी अनुभूति भयो

सम्पर्क ब्लक

ग्यास आउटलेट सिलिन्डर

(b) न्यानो पर्खाल ग्रह प्रकार

SiC कोटिंग प्लानेटरी डिस्क र TaC लेपित प्लानेटरी डिस्क

Nuflare (जापान): यो कम्पनीले दोहोरो-चेम्बर ठाडो भट्टीहरू प्रदान गर्दछ जसले उत्पादन उपज बढाउन योगदान गर्दछ। उपकरणले प्रति मिनेट 1000 क्रान्तिहरूको उच्च-गति रोटेशन सुविधा दिन्छ, जुन एपिटेक्सियल एकरूपताको लागि अत्यधिक लाभदायक छ। थप रूपमा, यसको वायुप्रवाह दिशा अन्य उपकरणहरू भन्दा फरक छ, ठाडो रूपमा तल तर्फ, यसरी कणहरूको उत्पादनलाई न्यूनतम पार्छ र कणका थोपाहरू वेफर्समा खस्ने सम्भावना कम गर्दछ। हामी यस उपकरणको लागि कोर SiC लेपित ग्रेफाइट कम्पोनेन्टहरू प्रदान गर्दछौं।

SiC epitaxial उपकरण कम्पोनेन्टहरूको आपूर्तिकर्ताको रूपमा, VeTek Semiconductor ग्राहकहरूलाई SiC epitaxy को सफल कार्यान्वयनलाई समर्थन गर्न उच्च-गुणस्तरको कोटिंग कम्पोनेन्टहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ।

View as

ठाडो भण्डार sic लेपित रिंग

ठाडो फीस्पेस अनुदान कोटेड रिंग एक कम्पोनेन्ट पोजिकल भट्टीको लागि विशेष गरी डिजाइन गरिएको छ। VETEK SEMIMDONDACE ले तपाइँलाई दुबै सामग्री र निर्माण प्रक्रियाहरूको मामलामा तपाईंको लागि उत्तम गर्न सक्दछ। एक अग्रणी निर्माता र ठाडो फोरस्पेन्ड SIC लेपित रिंगको रूपमा, अनुभन अर्ध अर्धविक्रेता विश्वस्त छ कि हामी तपाईंलाई उत्तम उत्पादनहरू र सेवाहरू प्रदान गर्न सक्छौं।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SiC लेपित वेफर वाहक

चीनमा एक अग्रणी SiC लेपित वेफर वाहक आपूर्तिकर्ता र निर्माताको रूपमा, VeTek सेमीकन्डक्टरको SiC लेपित वेफर क्यारियर उच्च-गुणस्तरको ग्रेफाइट र CVD SiC कोटिंगबाट बनेको छ, जसमा सुपर स्थिरता छ र धेरैजसो एपिटेक्सियल रिएक्टरहरूमा लामो समयसम्म काम गर्न सक्छ। VeTek सेमीकन्डक्टरसँग उद्योग-अग्रणी प्रशोधन क्षमताहरू छन् र SiC लेपित वेफर क्यारियरहरूको लागि ग्राहकहरूको विभिन्न अनुकूलित आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छन्। VeTek Semiconductor तपाईंसँग दीर्घकालीन सहकारी सम्बन्ध स्थापना गर्न र सँगै बढ्नको लागि तत्पर छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

CVD SIC कोटिंग एपिट्याक्साएक्साएक्साएक्टिक्स सशवरी

VETEK SEMDANDUCER CVD SVD SIC कोटिंग एपिटक्स्टेक्साक्सक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साई सटीक-ईन्जिनियर उपकरण हो जुन अर्धन्डुनिक वेफर ह्याफर ह्यान्डलिंग र प्रशोधनको लागि डिजाइन गरिएको सटीक-ईन्जिनियर उपकरण हो। यो अनुक्रम कोटि ictaxy ्केक्टिक्स संसाधर्ता संवेदनशीलताकार संश्वणक, एपिलायर्स र अन्य कोटिंग्सलाई बढावा दिन महत्वपूर्ण भूमिका खेल्थ्यो, र निश्चिततापूर्वक तापमान र भौतिक गुणहरू नियन्त्रण गर्न सक्दछ। तपाइँको थप सोधपुछ को स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

CVD SiC कोटिंग रिंग

CVD SIC कोटिंग रिंग आधातर भागको महत्त्वपूर्ण भाग हो। अन्य भागहरूसँग सँगै, यसले sic icigaxal वृद्धि प्रतिक्रिया समितिलाई फार्म गर्दछ। Veetce Semiconducore एक पेशेवर CVD SVD SIC कोटिंग रिंग निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो। ग्राहकको डिजाइन आवश्यकता अनुसार हामी सबै भन्दा प्रतिस्पर्धी मूल्यमा सम्बन्धित cvd sco कोटिंग रिंग प्रदान गर्न सक्छौं। Veettic Semiconductuctaत्मक वा चीन मा तपाइँको दीर्घकालीन पार्टनर बन्न अगाडि हेर्छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागहरू

एक पेशेवर अर्ध मजातिक निर्माता र आपूर्तिकर्ताको रूपमा, VETEK SEMIMonductor ले SIC EPITAXILE वृद्धि प्रणालीको लागि आवश्यक ग्राफिटी कम्पोनेन्ट प्रदान गर्न सक्दछ। यी sic कोटिंग आधामोन ग्रेफो भाग एपिटाइक्चरल रिडरको ग्यास सेन्ट सेक्सनको लागि डिजाइन गरिएको छ र अर्धन्डुनिक निर्माण प्रक्रियालाई अनुकूलित गर्न महत्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। Veetce Semicondualtuctualt आर्जन गर्न को लागी सबै भन्दा प्रतिस्पर्धी मूल्यहरु मा सबै भन्दा राम्रो गुणवत्ता को साथ ग्राहकहरु प्रदान गर्न कोसिस गर्दछ। Veettic Semiconductuctaत्मक वा चीन मा तपाइँको दीर्घकालीन पार्टनर बन्न अगाडि हेर्छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SiC लेपित वेफर होल्डर

VeTek अर्धचालक एक पेशेवर निर्माता र चीन मा SiC लेपित वेफर होल्डर उत्पादनहरु को नेता हो। SiC लेपित वेफर होल्डर अर्धचालक प्रशोधनमा एपिटेक्सी प्रक्रियाको लागि वेफर होल्डर हो। यो एक अपरिवर्तनीय उपकरण हो जसले वेफरलाई स्थिर गर्दछ र एपिटेक्सियल तहको समान वृद्धि सुनिश्चित गर्दछ। तपाईको थप परामर्शलाई स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।